Halbleiter & Nanotechnologie

Da Logikbausteine immer komplexer werden und Innovationen wie finFET, Nanoblätter und andere komplexe Strukturen eingeführt werden, sind die Anforderungen an die Messtechnik gestiegen. Bruker bietet eine Reihe von Produkten an, um die Entwicklung und Produktion dieser Geräte für unsere Schlüsselkunden zu ermöglichen, einschließlich kombinierter HRXRD- und XRR-Messungen für komplexe 3D-Epi- und AAFM-Messungen der Nanoblatt-Form.

Bruker HRXRD / XRR systems are the system of choice for the characterization of advanced power systems such as GaN on Si and SiC. They are used in production lines throughout the world for the measurement of film thickness, composition and quality to ensure high yields for Bruker customers.

Speicher in verschiedenen Varianten findet man in allen Geräten, von Telefonen über Laptops bis hin zu Hochleistungsservern. Dazu gehören DRAM, 3D-NAND und neuerdings auch Phasenwechselspeicher (wie XPoint) und MRAM. Bruker setzt eine Reihe von Röntgensystemen und -techniken ein, um wichtige Parameter von Schichten zu charakterisieren: von der Dicke über die Zusammensetzung bis hin zu Formprofilen.

Bruker (und zuvor bede und Jordan Valley) waren Pioniere der digitalen Röntgendiffraktometrie (XRDI) in der Halbleiterindustrie, um sogenannte Killerdefekte zu erkennen, die zum Bruch von Wafern führen. Mittlerweile hat sich dies auf die Identifizierung von Defekten in anderen Substraten ausgeweitet, die die Ausbeute von Substraten und Geräten beeinträchtigen können. Bruker bietet auch TXRF-Systeme für Si- und SiC-Substrate zur Identifizierung von Metallverunreinigungen auf Substraten an, die für die Ausbeute der Produktionsanlage entscheidend sind.

力量liefert exzellente刺激uktionsmesstechnik für die Touchpanel- und Display-Herstellung

Die Röntgenfluoreszenz (RFA) bietet eine schnelle, zerstörungsfreie Methode zur Erkennung von Gefahrstoffen wie Schwermetallen (Blei, Quecksilber, Cadmium), sechswertigem Chrom, polybromierten Flammschutzmitteln (PBB und PBDE) und Phthalaten.

Die Messlösungen von Bruker ermöglichen genaue und reproduzierbare Messungen zur Fertigungsüberwachung und Ertragssteigerung. Unsere AFM- und optischen Messlösungen liefern genaue und reproduzierbare PSS-Höhen-, Breiten- und Abstandsmessungen in Sekundenschnelle für eine optimierte LED-Produktion. Unsere Lösungen für die Elementaranalyse charakterisieren die Zusammensetzung und die kristalline Struktur. In der Prozesssteuerung oder Prozessüberwachung haben sich unsere produktionsfertigen XRD-Systeme zur Messung von Epi-Schichten bestens bewährt.

HF-Geräte sind das Herzstück der neuen 5G-Kommunikationsgeräte. Bruker stellt Röntgenmessverfahren durch XRD zur Verfügung, um die Epi-Schichten sowie die Materialphase und -zusammensetzung der piezoelektrischen Materialien zu charakterisieren, die in BAW / SAW-Filtern benötigt werden.

Bruker's FT-IR instrumentation is used worldwide to characterize and investigate new semiconducting materials. Examples are studies concerning phonon spectroscopy, IR photoluminescence, hetero structures and band gaps.

Brukers Präzisionsmesstechnik unterstützt die Solarforschung und Prozesskontrolle

Bruker bietet eine Reihe von Systemen für das Wafer Level Packaging an. Messungen der Zusammensetzung einzelner Bumps und der Dicke der Metalle unter den Bumps können mit Mikro-RFA durchgeführt werden.