Chemische Zusammensetzung冯Halbleiter-Interconnects
死energiedispersive Rontgenspektroskopie《奥得河EDX) der Standardklasse麻省理工学院30 mm²aktiver Detektorflache萤石在konventionellen Rastertransmissions-elektronenmikroskopen (STEM) innerhalb wenig Minuten Elementverteilungsbilder麻省理工学院nm-Auflosung liefern。Voraussetzung坚持,dass der Detektorkopf克莱因足够的坚持(schlanker Slim-line-Ausfuhrung),汽水盛Abstand苏珥探针moglichst蒙古包是(毛皮杯hohem Raumwinkel,来自民主党Rontgenstrahlung erfasst了萤石)和der Detektor所以霍克是不是moglich uber der探针positioniert了萤石(毛皮杯hohen Abnahmewinkel)。静脉(hoh Abnahmewinkel hilft Abschattungs——和Absorptionseffekte祖茂堂vermeiden。
Konventionelle(不Cs-korrigierte)茎,nachgerustet麻省理工学院Standard-EDS(30毫米²Detektorflache和Leichtelementfenster), erreicht 0, 09年sr Erfassungsraumwinkel贝22°Abnahmewinkel和假日,verwendet,嗯死在Halbleiter-Verbindungen Elementverteilung祖茂堂erfassen祖analysieren (Abb。1)。死EDS-Daten wurden quantitativ去der Cliff-Lorimer-Methode analysiert。死Berechnung theoretischer Cliff-Lorimer-Faktoren在der ESPRIT-Software basiert auf folgenden Informationen:
- umfangreiche和standig aktualisierte Atomdatenbank麻省理工学院Werten毛皮Streuquerschnitte Fluoreszenzertrage
- Geometrie冯Detektor和调查
- Informationen苏珥Quanteneffizienz Detektors
Innerhalb静脉Probenserie, deren Proben unt窝gleichen Bedingungen untersucht了,萤石死Cliff-Lorimer-Methode unt Verwendung theoretisch berechneter Faktoren和relativ祖茂堂静脉肌萎缩性侧索硬化症Referenz ausgewahlten探测来自这位意甲一张Genauigkeit冯wenigen Atomprozent erzielen。死EDS-Daten请deutlich Tantal和泰坦der Ta - TiN-Zwischenschicht和死库弗尔——和Wolframfullung (Abb。2)。Das Titansignal萤石vom Stickstoffsignal getrennt了。如果,助教和W能帮ebenfalls肠道getrennt和korrekt zugeordnet了(Abb。3)。
