硅锭分析仪

SiBrickScan

Eigenschaften

SiBrickScan (SBS)硅锭分析仪

SiBrickScan (SBS) ist ein dediziertes producktionsnhes(“at-line”)System für die FT-IR basierte Quantifizierung von interstitiellem Sauerstoff in kompletten silica锭。Das Ergebnis ist in konzentrationsproffil entlang der Längsachse des锭。Der zuugang zu diesel Information, ohne die endendigkeit, Testproben oder Wafer zu präparieren, stellt einen signifikanten und kostensparenden Vorteil dar。

信息控制与优化Produktqualität

在硅锭上的铸造方法ermöglicht wichtige Schlussfolgerungen z. B. zur Kontrolle和Optimierung de ststallationsprozess oder zur Identifizierung von schlechten Chargen。Somit ist SiBrickScan ein wicichtiges Werkzeug zur Kostenersparnis durch Optimierung der Produktqualität und Reduktion der Anzahl fehlerhafter Wafer。Die stichprobenartige分析个人铸锭还原登Aufwand der Probenpräparation戏剧和liefert Die相关信息德国früher。

Höchste Messempfindlichkeit durch modernste FT-IR-Spektroskopie

测试Si (ASTM/SEMI 1188)的定量分析方法,测试Si (ASTM/SEMI 1188)的定量分析方法,测试Si beschränkt ist。SiBrickScan (SBS) überwindet diese限制和标准的das erste kommerziell erhältliche, dedizite Gesamtsystem zur Ermittlung des Sauerstoffgradienten in kompletten Ingots entlang ihrer Längsachse, ohne die endendigkeit, zeitaufwändig dünne Testproben zu präparieren。Hierzu wild beim SBS auf intelligente Weise der sog。Oberton einer红外吸收带mittels modernster und zuverlässiger Bruker ftir技术分析和ausgewertet。

Anwendungen

Anwendungen

量子化von间质部Sauerstoff ohne die Präparation dünner Testproben

SiBrickScan ermöglicht die analyze von interstitiellem Sauerstoff in silica - ingots bis zu einer Länge von 500mm。Diese wertvolle信息ermöglicht sowohl die Optimierung des crystallationsprozesses als auch die Qualifizierung个体化铸锭Sägen。

Hochwertige,直接mit ASTM/SEMI 1188 verknüpfte,校准

模具SBS-Sauerstoffauswertung nutzt eine校准,模具直接按照ASTM/SEMI 1188 verknüpft ist bzw。Von dieser abgeleitet wurde。Da die correlation beider Methoden nahezu perfect ist, kann der interstitielle Sauerstoff mit höchster Genauigkeit quantifiziert werden。

Höchste Nachweisempfindlichkeit mit SBS

Abhängig von Probenform und Eigenschaften (z. B. spezifischer Widerstand) sind mit SiBrickScan Sauerstoffnachweisgrenzen <2ppma (<1017/厘米3.) erreichbar。Falls Sie an einem Machbarkeitstest interessiert sind, kontaktieren Sie bitte Ihren regionalen Bruker-Repräsentanten。

Spezifikationen

Spezifikationen

Dedizierte SBS-Versionen für Unterschiedliche Ingot-Typen

Das SBS ist sowohl erhältlich für quaderförmige多阶单晶标准pv -锭(Querschnitt ~156 x 156毫米2)als auch für zylindrische锭mit Durchmesser ~150毫米(6“)订购~200毫米(8“)。Sollten Sie an Systemen für andere Durchmesser oder Formen interessiert sein, prüfen wir auf Anfrage gerne die Machbarkeit für Sie。

工业兼容和稳健设计

Ein robuster und präziser linear triieb steuert automatisch die messpotion des si锭:Abhängig von Konfiguration und锭型kann die Sauerstoffkonzentration mit einer Ortsauflösung von bis zu 12 mm ermittelt werden。Sichere und zuverlässige elektronische verriegelungmechanical echanismen schließen dabei die Gefahr aus, dass der Bediener mit beweglichen Teilen in Kontakt kommt。

直观和舒适的Bediensoftware

SiBrickScan (SBS) umfast eine dedizierte und intuitive grafische Bedienoberfläche, die für industrielle Bedürfnisse optimiert ist。法国标准生产标准- - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -Die eigenliche Messung einschließlich Datenauswertung erfolgt daraufhin automatisch。

创新Strahlengang mit enthtener Referenzprobe

在创新的道路上,红外辐射钢的死亡höchstmögliche Messempfindlichkeit sicher。Eine hochwertige咨询咨询师咨询服务Gerät咨询咨询师咨询服务自动化durchgeführt。

检测设备für unterschiedliche Kundenanforderungen

Das SBS ist mit einem Stirling-gekühlten检测器erhältlich, der ohne flüssigen Stickstoff betrieben werden kann。可选ist aber auch eine SiBrickScan-Version mit Flüssigstickstoff-gekühltem检测器einschließlich automatischer Nachfülleinrichtung verfügbar。

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