FSE/BSE成像系统

的eFlash EBSD检测器可选与ARGUS™预散射电子(FSE)和背散射电子(BSE)成像系统。这进一步增加了检测器的通用性，并为有意义和有效的微观结构表征提供了有价值的额外信息。

两台BSE探测器安装在EBSD探测器屏幕上方。三个FSE探测器位于屏幕下方。此位置不影响eFlash的性能和用户友好性，屏幕仍可更换。操作FSE/BSE探测器所需的所有电子设备已经包含在eFlash+探测器外壳中。除了方便之外，这也确保了信号损失最小化，因为前置放大器靠近探测器。

BSE探测器用于改善图像质量

由于EBSD模式的高样本倾斜，标准SEM SE和BSE检测系统往往产生低质量的噪声图像。ARGUS™BSE探测器定位最佳，可从高倾斜角度的样品中获取BSE信号。这包括屏幕上方的位置和朝向样品的倾斜度，两者都确保了最佳的信号强度。此外，EDS探测器可以安装在BSE探测器之间，为同时采集EDS和EBSD提供最佳条件。产生的信号可以单独使用，也可以与FSE探测器的信号混合使用。

彩色方向对比图像与ARGUS™FSE探测器

位于荧光屏下方的三个ARGUS™FSE探测器中的每一个都捕获了高度各向异性衍射预测信号(菊池图)的不同部分。这使得ARGUS™系统在扫描多晶样品时，可以检测到由于方向变化而引起的最轻微的信号变化。使用颜色编码(RGB)来显示信号，即使非常小的方向变化也能被人眼看到。该特性是ARGUS™系统所独有的。(有关该技术的更多细节，请参阅A. P. Day等人，《显微学杂志》，卷195,Pt. 3, 1999年9月，页186-196。)

信号优化是快速和全自动的，由于其完全集成到精灵软件．此外，FSE信号可以与BSE信号相结合。

ARGUS™图像具有科学和实际应用。