QUANTAX Micro-XRF
微量元素灵敏度与最小样品制备
即使是大面积的高速元素x射线测绘
薄膜厚度分析
突出了
10 ppm
检出限
由于光谱背景较低，可以进行微量元素分析
4毫米/秒
旅行速度
可选的Rapid Stage可以实现大面积的高速映射
1 nm - 40µm
层厚范围
可以分析从1 nm到40 μ m多层结构的薄膜
微x射线荧光分析技术是扫描电镜中EDS分析的补充技术
- 微x射线荧光(Micro- XRF)光谱分析是对传统的基于扫描电子显微镜(SEM)的能量色散光谱(EDS)分析的一种补充的无损分析技术。这种分析对于描述未知样品(从大的厘米大小的不均匀样品到小的微米颗粒)的元素组成非常重要。
- x射线激发产生了高得多的灵敏度的微量元素检测(低至10 ppm)、扩大的x射线光谱范围(高达40 keV)，以及来自样本更深入的信息。
- 配备x射线管与微聚焦x射线光学系统相结合可产生小的光斑尺寸30µm具有高强度吞吐量。
- 一个模块化的基于压电的平台，特别设计安装在现有的SEM平台上，可以在大范围内“动态”进行高速元素x射线测绘，速度可达4毫米/秒．这使得在50 x 50 mm(或更高)的样本量上获取x射线测绘数据成为可能，在快速和用户友好的工作流程中结合了光元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量的x射线数据。
- 更大的x射线激发深度允许表征多层系统从从1纳米到40微米不等，这在电子激发下是不可能的。
好处
扩展您的扫描电镜分析能力与Micro-XRF和快速阶段
- 双束势，电子束和x射线束，这为材料表征提供了新的可能性-同时研究两种来源的样品。
- 使用相同的探测器同时进行电子束/微xrf采集，结合轻元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量的x射线数据。
- XTrace和快速的阶段都无缝集成在精灵软件．
- 结合EDS和micro-XRF定量，通过结合电子激发更好的轻元素灵敏度和XRF更好的微量元素灵敏度，可以获得更完整的样品表征。
- 同时测绘微xrf和电子束激发，结合了两个世界的优势。用电子束激发轻元素(碳到钠)，用微xrf激发重元素。
- 分离的峰值和扩大的光谱范围使能够看到高能量K线，因为它们不那么复杂和重叠。
- 最少的样品准备-没有导电样品表面，不需要大量的抛光
- 无标准量化和基于标准量化。
