电子显微镜分析仪

QUANTAX改进算法

扫描电镜波长色散光谱分析

卓越的光谱分辨率

提高分析精度和精密度

突出了

~ 4
电动汽车
Si-Kα的FWHM
超能量分辨率超过一个数量级
< 100
ppm
多种元素的检出限
微量元素精度高,精密度高
> 900
cps / nA
C-Kα计数率为80 Å多层
对低能x射线的高灵敏度

用电子探针微分析仪的优点补充您的SEM

  • 用于扫描电镜的QUANTAX WDS (WDX)由XSense波长色散光谱仪组成,在所有平行光束WDS系统中具有最佳的分辨率。由于平行光束设计,大的实心角度导致低能x射线的信号强度比基于罗兰圆的WDS光谱仪要高得多。
    • WDS特有的高信噪比通过抑制背景伪影的独特二次光学进一步增强。
      • QUANTAX WDS配备了最好的掠入射光学器件和多达六个分析仪晶体,对70 eV以上的低能x射线具有卓越的灵敏度。
        • 巧妙的自动光学对准系统和独特的压力控制比例计数器确保准确和可重复的结果。
          • 灵活的适应无论是WDS或EDS端口。

          好处

          WDS在SEM -一个完美的解决方案的要求分析应用

          • 解析常见的EDS峰重叠,如Ta-W-Si, Pb-S或Mo-S
          • 探索低能量x射线线系列(L, M, N)的感兴趣的元素
          • 用低加速度电压检查样品,以确保最小的穿透深度
          • 由于高固相角,可以在整个浓度范围内从Be到F进行轻元素研究,因此获得最高的cps/nA
          • 测定微量元素浓度远低于检测限度的一种EDS
          • 在低真空下测量,不需要导电涂层
          • 独特的压力控制比例计数器节省分析测量时间
          • 确保光谱数据的空间准确性,以便精确量化
          • 同时进行WDS和EDS分析,将每种检测器的优点结合在一起量化,节省采集时间