低温硅分析系统

CryoSAS

特性

低温硅分析系统

布鲁克光学公司的低温硅分析系统(CryoSAS)是一种专用于低温(< 15 K)硅杂质分析的一体化系统。CryoSAS针对工业环境下的操作进行了优化。

CryoSAS将布鲁克公司的高性能FT-IR光谱仪与内置的闭式循环冷冻冷却技术相结合,不需要任何液氦。所有CryoSAS组件都是最先进的,利用成熟的技术,在苛刻的硅生产环境中完成困难的分析。CryoSAS可以在高水平的自动化操作,包括准确报告分析结果。

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功能包括:

灵敏度高:

根据ASTM/SEMI MF1630标准,CryoSAS分析浅杂质(如硼,磷等)至低ppta水平。此外,它同时分析碳和氧到低ppba水平,根据ASTM/SEMI MF1391标准。

低温(~12 K)下碳(见上图)以及硼和磷(见下图)的CryoSAS测量结果。

闭式循环低温制冷系统:不需要昂贵的液体低温

高可靠的闭式循环冷冻冷却系统,用于探测器和样品室的冷却。与液氦冷却制冷系统相比,密闭循环系统每年可节省5万欧元的运行成本,甚至更多。

CryoSAS低温样品室与自动9位样品架。
CryoSAS主软件屏幕显示当前加载的样品和选择的分析方法。

不锈钢样品室设计:
轻松获取样品

经过验证的样品室设计与固定光学和自动样品头。大内径的样品室允许方便的样品持有人访问。

干前泵和涡轮泵:
真空系统操作简单、清洁

通过涡轮泵和干式前泵快速可靠的排气。

稳健,精密步进电机阶段与九个位置样品架:

坚固的翻译阶段接口到样品持有人允许多个样品分析。高扭矩电机和固体平移机构提供精确的样品分度和多年的可靠功能。样品易于安装和拆卸,样品架几乎毫不费力地安装在样品室中。样品架采用OFHC镀金铜设计,确保温度均匀。

易用性:

CryoSAS针对工业环境下的操作进行了优化。所有真空和制冷装置由PLC控制。冷却和开始测量是一个简单的按钮操作。用户不必是光谱学专家或真空专家。

专用的CryoSAS软件旨在满足工业质量控制的需求。使用简单,可通过触摸屏操作。用户只需选择所需的分析方法,输入样本信息并按下开始按钮。然后,CryoSAS将自动冷却样品,开始红外测量,评估结果并创建分析报告。

规范

光谱范围:1500 - 280厘米-1优化的检测

  • III、V类浅杂质根据ASTM/SEMI MF1630的单晶Si。对于厚度约为。
    3毫米时,可达到以下检出限:
    - 10 ppta磷
    - 30 ppta硼
  • 置换碳根据ASTM/SEMI
    MF1391。该方法需要无碳FZ参考样品,其厚度和表面性能与样品试样相当。对于厚度约为。3毫米,可检测到碳浓度低至20 ppba。
典型的CryoSAS分析报告,包括所有相关信息和结果。