微波阻抗扫描显微镜(sMIM)

微波阻抗扫描显微镜(sMIM)使用微波信号,反映从tip-sample接口来阐明电动式尖先端下面样品表面的性质。实时检测和处理反射允许sMIM直接访问材料的介电常数和电导率。sMIM近场的特性,加上专业的AFM探针,交付sub-aF敏感性和允许常规电气映射与< 30 nm横向分辨率。

力量进一步增强sMIM能力的发展PeakForce sMIM和DataCube sMIM模式。这些高级sMIM模式提供了同时测量介电常数变化(ε)和电导率(σ)为所有类型的材料相关⁠nanoelectrical设备——包括半导体、电介质、金属、金属氧化物、埋结构,铁电体,1 d和2 d材料等。雷竞技网页版

• PeakForce sMIM解锁挑战性的应用程序,如精致的和粗糙的样本,并允许直接相关纳米机械性质;
• DataCube sMIM使高光谱的映射示例阻抗和确保测量重复性;和
• sMIM ScanWave专业解决方案可以量化的载体类型和载体浓度掺杂半导体。

PeakForce sMIM夫妇sMIM力量的PeakForce攻®技术大大扩大其应用程序之前具有挑战性的样品(如碳纳米管、纳米氧化物的电影,和半导体设备),并提供同步映射相关的纳米机械属性。

PeakForce sMIM模式:

• 消除了高剪切力与contact-based电模式可以扭曲或脱臼的样品;
• 允许高分辨率成像的粗糙的样品表面,提供高度敏感的电气测量通过删除卷积从地形数据;和
• 使multiparametric成像纳米机械性能直接相关,如弹性模量和附着力。

力量的DataCube模式扩展sMIM获得多维数据集的功能。

DataCube sMIM模式:

• 使电压循环在每个像素提供一个更全面的样本测量阻抗扫描一次;
• 允许测量和减法的背景电容的贡献,提高数据采集的敏感性;
• 提供相关的高光谱nanoelectrical地图和纳米机械性质;和
• 提供了增加提示和示例一生为增强测量重复性。

sMIM PrimeNano Inc .(开发人员)已经推出ScanWave专业解决方案,高分辨率的定量分析掺杂半导体的载体,

• 支持自动量化掺杂剂的掺杂剂水平,识别类型(n型和p型);
• 提供高度可重复的测量和业内对掺杂剂的敏感性水平最高;和
• 只有力量的维图标®spm。