扫描扩散阻力显微镜(SSRM和SSRM-HR)

发光二极管(led)、光电探测器和二极管激光器是基于半导体技术,及其发展和制造能力取决于测量他们的电气性能与高分辨率的两个维度。

扫描扩散阻力显微镜(SSRM)扫描电容显微术(SCM),同时使地形成像和2 d表面载体密度映射半导体样品。SSRM雇佣了联系方式反馈在高力与各种放大器获得测量扩散阻力,因此载体密度。

的维图标^®SSRM-HR包空间分辨率和可重复性最高达到2 d载体密度映射,使它的配置选择前缘半导体工作。