半导体解决方案

平面电流隧道(CIPT)

在微观尺度上表征薄膜堆

平面电流隧道(CIPT)

面内电流隧道法(CIPT)是一种快速、经济的磁隧道结表征方法。SmartTip探测器为工业和学术界提供了几种高场,高精度的仪器来执行CIPT测量。平面内和垂直场选项都是可用的。

CIPT方法

平面电流隧道法(CIPT)通过在样品顶部放置探针来表征隧道结的特性。这些非侵入性测量极大地加快了开发和测试,由于微尺寸的探针间距,这些测量可用于均匀性控制和参数表征。

CIPT测量采用四点探针法确定隧道结堆栈的电阻。

CIPT探针

CIPT探针是最先进的MEMS器件,由12个在线金属覆盖的探针手指(电极)组成,每个探针手指只有几微米长,亚微米宽。这些探针的非常小的尺寸允许非常温和的接触,使它们成为局部(微尺度)电测量的理想选择。

探头范围

四种不同类型的探头可用(平均间距从0.75µm到59µm)。根据您的要求,我们可以设计出符合您具体实验要求的探头。所有CIPT探针也可在陶瓷载体上使用,该载体适合Capres工具。

你最喜欢的探针

请与我们联系您的测量要求,我们将很乐意就您的具体情况提供建议。

样品制备

请注意,与样品建立电接触的能力在很大程度上取决于样品表面。接触力通常太小,无法穿透氧化层,因此样品应盖上非氧化导体或形成导电氧化物的金属(例如Pt和Ru)。

SmartTip 12点探头用于CIPT测量

SmartTip历史与技术

布鲁克的SmartTip™CIPT解决方案为工业和学术界提供了几种高现场,高精度的仪器,用于进行平面内电流隧道测量。平面内和垂直场选项都是可用的。

以开发新的前沿mems纳米微探针为使命,我们的目标是通过与客户的合作和协作,使mems微探针技术成为可能。我们的SmartTip解决方案定位于推进高科技纳米技术为基础的微探针应用,致力于质量和持续改进的发展。