fp-III
第三代飞脉冲激光修复系统
45nm生产掩模修复
突出了
高速和精确的掩模修复能力
的fp-III®飞脉冲激光系统是布鲁克非常成功的掩模修复工具家族的最新成员。fp-III具有非凡的高速和精确的掩模修复能力，是当今最具成本效益的解决方案，可以取代过时、旧、慢和性能较差的现有激光和FIB掩模修复系统。fp-III是专为批量生产的掩模修复而设计的，低至45nm技术节点，包括大面积和小面积的图像重建和通过薄膜修复。
广泛
激光烧蚀和颗粒可移动材料雷竞技网页版
包括铬，MoSi，不透明MoSi, SiN，石英，EUV，异物，以及持久性未知粒子雷竞技网页版
精确的
边缘位置
所有材料≤20nm(±靶距)雷竞技网页版
非凡的精度控制，允许维修具体匹配到指定的参考或差异偏向在线边缘
迭代修复
能力
用飞脉冲激光
确保无吸收器或石英损坏，无热损坏，无飞溅或卷起
所有的面具
类型
45nm节点修复
具有从EUV掩模中去除未知粒子的能力
特性
面具修复的终极控制变得容易
我们的Fempto-Pulse激光修复过程完全由形状、功率和脉冲数量控制;与材料组成、材料界面或被移除的几何形状无关。
此外，集成的本地模式复制功能是标准的系统上易于设置和可重复的结果。
为最佳性能而设计
fp-III标准配备反射成像和传输成像，以提供最佳的AIMS传输性能。
提供的年代优越的透膜修复和颗粒去除能力，持久的未知颗粒污染，甚至在大面积。
很多能力，没有任何担忧
Bruker的面罩修复fp-III提供了经过生产验证的高速修复，包括:
- 无真空度要求
- 没有化学反应
- 无化学残留物
- 没有光束相关的充电效应
- 不需要使用不需要的定位标记进行恒定的漂移校正
支持
支持
我们如何提供帮助?
Bruker与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发新一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务继续下去，直到工具出售很久之后。
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级，以及应用程序支持和培训，最大限度地提高您的生产力。