jvsensus - 600 f
资格和监控流程工具在任何技术节点减少周期时间和促进工厂扩张
x射线衍射成像(XRDI)检查系统
突出了
jvsensus - 600 f
jvsensus - 600 f是300毫米x射线缺陷计量系统Si设备制造商。它有助于发现问题过程中遇到晶圆生产使用最新的x射线衍射成像(XRDI)技术。应用包括监测边缘损伤超快速退火期间防止昂贵的晶片破损。它可以有资格和监控流程工具在任何技术节点,这样可以减少周期时间和促进工厂扩张。
特性
容易识别晶体缺陷
JVSensus允许用户识别裂缝和其他缺陷会导致灾难性的结构失效的晶片,在发生断裂。一旦缺陷被观察到,非破坏性截面查看图片可以执行定位晶片内的缺陷位置深度。
程度上的晶片
测量可以执行在毯子、图案和金属化晶片没有样品制备。缺陷可以被识别,即使模式是目前在晶片上。
检测滑
覆盖问题的主要原因。是否它是一个逻辑的晶片,GaN Si或锭幻灯片,JVSensus可以在几分钟内检测滑。
支持
支持
我们如何帮助?
力量合作伙伴与客户解决实际应用问题。我们开发新一代技术,帮助客户选择合适的系统及配件。这种伙伴关系继续通过培训和扩展服务,很久以后销售的工具。
我们的训练有素的团队的支持工程师,科学家和应用主题专家是完全致力于最大化工作效率与系统服务和升级,以及应用程序的支持和培训。