三维光学轮廓仪

HD9800 +

自动校准,全自动表面计量数据存储

突出了

HD9800 +

HD9800+ 3D大尺寸表面轮廓系统是世界上最先进的用于在线数据存储滑块测量的光学轮廓仪。该系统将可测量的光学表征技术与先进的自动化技术相结合,实现了优化的PTR和面形测量性能。HD9800+结合了几十年的工业高清计量经验,使用白光干涉测量法(WLI),自校准,LED高强度照明,操作友好的软件,以及许多其他功能,以提供强大的,高分辨率的,无损的性能,数据存储制造商需要提高工艺质量和提高产量。

完整的
自动化
提供高速滑块CCT和PTR特性。
专利
提示/倾斜头
实现快速自动化计量,具有最高的可重复性。
流线型的
软件
简化运营商对运营商使用数据存储分析和报告。

特性

特性

精度基准

HD9800+系统的耐振设计,集成空气隔离,以及由行业路线图驱动的生产友好型架构,在生产楼层使用期间保持测量的完整性。它的高分辨率相机在横向分辨率和精度方面达到了极致,广泛的硬件和分析软件功能专门为先进的过程控制设计,可为数据存储滑块应用提供最快和最具测量能力的系统。

最好的PTR和平整度能力

3D光学图像可实现定量PTR表征。

HD9800+提供最快,最准确的三维测量滑块极尖衰退(PTR)和滑块轴承表面平直度。该系统还可以连续校准内部的主要标准,无需定期校准台阶高度。这种自校准确保了长期的稳定性和相关性,并显著缩短了鉴定时间。最终的结果是最准确的工业计量性能,具有市场上最好的可靠性和可服务性。

优化性能的选项

HD9800+提供了一系列可选的增强功能,以根据您的设施的特定要求定制性能:

  • 双Accu阶段(DAP)软件为可变材料滑块提供与基准AFM基准的绝对PTR计量相关性
  • 快速倾斜模式为24x7生产运行提供最简单的操作能力和最佳的可重复性
  • SureVision软件通过对感兴趣的特征的自动模式识别,使蚀刻深度和位置测量无需操作员干预
  • 高级软件分析提供广泛的附加功能
  • 灯塔向工厂人员显示操作状态
  • 条码扫描器提供流线型的材料和工作流处理
Vision64提供了方便的高级数据存储分析。

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