SEM PicoIndenter系列

Hysitronπ80

原位纳米机械的核心仪器测试

突出了

原位纳米机械测试仪器

SEM PicoIndenter Hysitronπ80

力量是π80 SEM PicoIndenter depth-sensing纳米机械测试仪器专门设计来增强扫描电子显微镜的成像功能(SEM、FIB / SEM、PFIB)。与此基础nanoindentation工具,可以执行定量原位纳米机械测试,同时用扫描电镜成像。有力量的行业领先的电容式传感器,π80提供了优越的性能和卓越的稳定性在纳米尺度上。其紧凑,低调的设计使仪器适合小房间sem,以及独立的拉曼和光学显微镜,beamlines等等。组合的特性,测试模式,和可选配件,π80 SEM PicoIndenter提供了一个优良的介绍先进的纳米机械性能测试在SEM。

核心
原位纳米机械测试平台
支持标准的机械测试模式、控制方式和可互换的探测器在各种各样的几何图形。
简单的
低系统
支持用户友好的和可靠的纳米机械性能测试。
紧凑的
低调的设计
提供安装方便理想的小房间扫描电镜、拉曼和光学显微镜,beamlines等等。

特性

现场机械数据同步扫描电镜成像

FIB-milled back-end-of-line (BEOL)微光束样本后机械测试和相应的载荷与位移曲线。铜层之间的界面分层是观察和脆性介质。

现场机械数据获得Hysitronπ80同步扫描电镜成像和并排显示在视频格式。同时机械测量和扫描电镜数据使材料变形行为的更完整的了解。在左边的例子中,不连续的荷载位移数据相关骨折的发病观察FIB-milled梁包含铜互联和脆性介质材料。

旨在增强你的扫描电镜

紧凑形式的力量的电容式传感器,Hysitronπ80可以直接安装在扫描电镜舞台上没有一个永久的固定在显微镜。样品定位阶段适应样品20毫米厚,同时提供精确定位多个样本3毫米在所有三个方向(某某)。另外,样品的机械耦合阶段,传感器提供了一个稳定、刚性纳米机械测试平台。总的来说,这种现场仪表使舞台倾斜和工作距离优化互补SEM成像和纳米机械测试标准。

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