BAW/SAW滤波器相位和组成

多晶薄膜的相位对其性能至关重要。XRD是一种能够在PZT和其他多晶薄膜上测量这一特性的成熟技术。通过使用JVX7300L，可以自动确定PZT薄膜的结晶度，并在衬底上进行映射，以监测生长过程。

JVX7300L还具有可选的XRF通道，可以在同一工具上映射PZT的成分，从而提高生产率和产量。

JVX系列工具附带sec - gem和自动报告作为标准，支持关键过程信息的快速反馈。

钛酸铅锆(PZT)等多晶压电陶瓷薄膜的性能是由其晶相和微观结构决定的，这些关键参数可以通过x射线衍射(XRD)得到。
XRD是一种非常强大的无损分析技术，可用于多晶薄膜和粉末的物相鉴定、定量和微观结构分析。

D8发现和D8提前是布鲁克的实验室衍射解决方案，结合了最高的粉末衍射性能和易用性。它们非常适合在研究、工艺开发和生产控制中对多晶薄膜进行表征。