CryoSAS

CryoSASは,ブルカー・オプティクスの高性能红外に閉鎖循環方式の極低温冷却技術を組み合わせ,通常クライオシステムで必要とされる液体ヘリウムを必要としません。CryoSASに使用されている部品や技術は,すべて最先端のものであり,半導体分析に求められる高い分析精度に応えてきたブルカーの実績を基本としています。CryoSASは，分析結果の報告まで洗練された自動化システムによる操作が可能です。


特徴は次のとおりです。

高感度：

CryoSASは,シリコン中のホウ素,リン等の不純物を项目前期技术援助レベルの低濃度まで,ASTM /半MF1630標準に従い分析します。さらには,ppbaレベルの炭素・酸素の分析(ASTM /半MF1391)も同時に可能です。

閉鎖循環型極低温冷凍システム:高価な液体寒剤は必要ありません

検出器および試料チャンバー用の信頼性の高い閉鎖循環型極低温冷凍システムで,液体ヘリウムを用いる従来の冷却冷凍システムと比較して,年間50000ユーロ以上の運用コストの削減が可能です。

ステンレス製大型サンプルチャンバ

数多くの実績に基づく大口径ステンレス製チャンバーとオートサンプラーが,サンプリングの操作性とメンテナンス性を高めます。

シンプル·クリ，ンな真空排気システム

真空排気系には，前段にドラ，ポンプ，後段にタ，ボポンプを配置し，排気速度と信頼性を高めています。

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サンプルホルダーにインターフェースされた頑丈なステッパーモーター段階により,複数のサンプル分析が可能です。高トルクモ，タ，および固体メカニズムは精密なサンプルの索引付けおよび信頼できる機能の年を提供する。サンプルは取り付けが簡単で取り外しが簡単で,サンプルホルダーはサンプルチャンバーに取り付けるのがほぼ楽です。サンプルホ，ルダ，の金コ，ティングofhc銅の設計は均一な温度を保障します。

高い操作性:

CryoSASは産業環境での操作において最大限に実力を発揮します。すべての真空および冷凍装置はPLCによって制御され,冷却と測定の開始は,簡単なボタン操作でおこなうことが可能ですので,分析スキルを問わずどなたでも操作できます。

専用のCryoSASソフトウェアは,品質管理のニーズを満たすように設計されており,操作性の良いタッチスクリーンで簡単に行えます。ユーザーは,シンプルに分析方法を選択・,サンプル情報を入力し,スタートボタンを押すのみで,CryoSASは自動的にサンプルを冷却し,赤外線測定を開始し,結果を評価し,分析レポートを作成します。

仕様

スペクトル範囲:1500 - 280厘米^－1の検出のために最適化

• ASTM/SEMI MF1630による単結晶Si中のグルプiiiおよびvの浅い不純物。約の厚さのくさび状のサンプル。
  3mm，以下の検出限界に達することができます。
  - 10 pptaリン
  - 30 pptaホウ素
• Astm / semiによる置換カ，ボン
  MF1391。この方法では,厚さとサンプル標本に匹敵する表面特性を持つカーボンフリーFZ参照サンプルが必要です。厚さ約3mmのくさび状のサンプルの場合，20ppbaまでの炭素濃度を検出することができます。