半导体解决方案

平面电流隧道(CIPT)

薄膜堆在微观尺度上的表征

平面电流隧道(CIPT)

电流面内隧穿法(CIPT)是表征磁隧道结(MTJ)的一种快速且经济的方法。SmartTip探头提供了几个高现场,高精度的仪器,为工业和学术界执行CIPT测量。平面内和垂直场均可选择。

CIPT方法

电流面内隧道(CIPT)方法通过在样品顶部放置探针来表征隧道结的性质。这些非侵入性测量极大地加快了开发和测试,由于微型探针间距,这些测量可用于均匀性控制和参数表征。

CIPT测量使用四点探针方法确定隧道结堆的电阻。

CIPT探针

CIPT探针是最先进的MEMS器件,由12个直列金属覆盖的探针手指(电极)组成,每个探针手指只有几微米长,亚微米宽。这些探针的非常小的规模允许非常温和的接触,使它们成为局部(微尺度)电测量的理想选择。

探头范围

四种不同类型的探针可用(平均间距从0.75 μ m到59 μ m)。根据您的要求,我们可以设计出符合您具体实验要求的探针。所有CIPT探头也可在一个陶瓷载体,适合Capres工具。

你最喜欢的探针

请与我们联系您的测量要求,我们将很乐意就您的具体情况提供建议。

样品制备

请注意,与样品建立电接触的能力在很大程度上取决于样品表面。接触力通常太小,无法穿透氧化层,因此样品应覆盖非氧化导体或形成导电氧化物的金属(例如Pt和Ru)。

SmartTip 12点探头CIPT测量

SmartTip历史和技术

Bruker的SmartTip™CIPT解决方案为工业界和学术界提供了几种高现场、高精度仪器,用于进行平面电流隧道测量。平面内和垂直场均可选择。

在开发新的前沿mems纳米技术微探针的使命驱动下,我们的目标是通过与客户的合作和协作,实现基于mems的微探针技术。我们的SmartTip解决方案定位于推进高科技纳米技术为基础的微探针应用,致力于质量和持续改进的开发。