先进的内存

PCRAM厚度和成分

PCRAM厚度和成分

布鲁克x射线系统为在线过程监测和研发材料表征提供解决方案。雷竞技网页版无论是新兴存储器的复杂多元素结构还是更传统的PCRAM结构,我们的系统都提供了精确确定和监测晶体相所需的关键信息。

在线成分监测

非常适合用于监测相变存储器和其他复杂、多元素结构堆叠的新兴存储器,力量的Sirius-RF该工具将堆栈中单个层的x射线反射率(XRR)厚度测量与多源μ XRF相结合,用于确定衬垫和电池区域的成分和厚度。

例如,该系统用于测量内存元件(GeSbTe - GST)和Ovonic阈值开关(OTS, GeAsSe)的组成和厚度,这两个参数都是关键参数。

Sirius-RF μ XRF可以在线监测计量垫或设备区域的成分。快速收敛束XRR允许厚度测量在1-2秒每个点。

GST薄膜相变的原位研究

了解薄膜材料的相变行为对PCRAM器件的发展至关重要。雷竞技网页版
非环境x射线衍射允许精确地确定晶体相和晶格参数作为温度的函数。
此外,x射线反射法是测定非晶GST薄膜厚度最准确的非破坏性方法。

布鲁克实验室衍射解,D8发现D8提前,是强大的XRD工具,可支持PCRAM器件的研发。