3D光学轮廓术

Wyko Veeco历史

Wyko表面光学剖面仪继承了布鲁克的3D光学显微镜

Wyko公司

布鲁克的3D光学显微镜专业知识源于80年代Wyko公司开发的非接触式表面光学剖面技术。Wyko由亚利桑那大学光学科学中心的三名成员于1982年创立。凭借为半导体和数据存储行业设计的初始系统,Wyko干涉仪成为计量解决方案的领先供应商,使公司能够跟上积极的技术路线图。Wyko仪器通过在整个制造周期中生成精确,一致的定量数据来提高产品产量和产品质量。在计算机硬盘驱动器的制造过程中,Wyko系统能够精确测量磁头形状和高度,悬挂臂高度和角度,以及磁盘纹理和平整度。半导体制造商使用Wyko设备来测量倒装芯片和晶圆的粗糙度。

Wyko的许多专利在学术研究,工业研发,光学和电信领域开辟了额外的成功市场。他们最畅销的产品包括Ladite激光二极管波前测试仪、IR3红外干涉仪、TOPO-3D光学表面剖面仪、Siris干涉仪和Wyko 6000 Fizeau干涉仪。

Veeco计量集团

Wyko的成功使其于1997年被Veeco Instruments Inc.(一家上市公司)收购,后者将新的非接触式光学测量产品与现有的原子力显微镜,Dektak表面轮廓仪和激光散射仪相结合,形成了Veeco计量集团。该部门为高速增长的微电子市场(如薄膜磁头和先进半导体器件)以及广泛的工业应用提供表面计量设备。它还支持Veeco仪器公司作为精密离子束系统和物理气相沉积系统的全球领导者的地位。

在Veeco的领导下,表面轮廓技术持续发展,在专利和操作软件方面领先于表面计量行业。Veeco计量集团专注于创建高端自动化系统,并将最新的白光干涉测量(WLI)功能引入台式仪器。他们开发了最畅销的NT系列光学剖面仪,用于快速准确地测量精密表面,先进材料和光学,生物材料,MEMS和半导体封装的3D表面高度。雷竞技网页版Veeco计量集团还专门为半导体制造商开发了SP系列全自动非接触式表面计量系统,并为数据存储制造商开发了HD系列干涉仪。

布鲁克纳米表面

2010年,Veeco决定专注于LED、太阳能、数据存储和无线市场,并将其计量业务出售给布鲁克公司。50多年来,布鲁克的高性能科研仪器和高价值分析解决方案使科学家能够在分子、细胞和微观水平上探索生命和材料。雷竞技怎么下载雷竞技网页版

今天,布鲁克继续成为分子和材料研究以及诊断、工业、临床和应用分析的高性能科学仪器和先进解决方案的领先供应商。雷竞技怎么下载雷竞技网页版在汽车/航空航天、高亮度LED、太阳能、半导体和医疗设备市场,布鲁克拥有适合您的应用和预算的3D光学显微镜解决方案,可用于先进的QA/QC和研发精密加工和制造应用。

3D光学计量解决方案:

  • 台式3D表面测量(研发生产台式手动及自动化仪器):contourx - 100contourx - 200contourx - 500
  • 地板站立的三维表面测量(全自动生产就绪系统,集成隔振):contourx - 1000
  • 大型和工业计量(大样本、自动化系统,用于难以进入样品表面的研发和工业应用):npflex - 1000
  • 半导体计量(大型面板和PCB生产控制综合测量系统):ContourSP
  • 数据存储计量(数据存储表征过程控制监控系统):HD9800 +