Dektak XTL
具有测量能力的QA/QC轮廓仪，可获得最佳的300mm性能
Основныемоменты
Dektak XTL
Dektak XTL™触头轮廓仪可容纳高达350mm x 350mm的样品，带来传奇的Dektak®大尺寸晶圆和面板制造的重复性和再现性。Dektak XTL具有气动隔振和全封闭工作站，易于访问的联锁门，使其成为当今苛刻的生产环境的理想选择。其双摄像头架构增强了空间感知能力，其高自动化水平最大限度地提高了制造吞吐量。
健壮的
自动化设置和操作
程序基准和无限的测量地点，以最大限度地提高产量和减少错误。
双
相机控制
简化测量设置和导航到感兴趣的点更快。
容易
分析和数据收集
自动分析程序和报告只需要复杂的样品特征。
Особенности
业界最好的自动化和分析软件
增强的软件功能使Dektak XTL最强大，最容易使用的触控笔分析器可用。该系统采用Vision64软件，可以实现无限的测量位置，3D映射，以及数百个内置分析工具的高度定制化描述。Vision Microform软件还可以测量形状，比如曲率半径。模式识别可以最大限度地减少操作误差，提高测量定位精度。一体化软件包将数据收集和分析与直观的工作流程相结合。
Vision64生产接口。
无与伦比的手写笔技术
操作员将300mm晶圆装入Dektak XTL。
Dektak XTL建立在超过50年的触控笔专业知识和生产设施应用定制的基础上，以满足当今和未来严格的行业路线图。300毫米，高精度编码的XY分期为制造商提供了一个可靠的工具，以满足严格的仪表R&R要求。Dektak的双摄像头控制与高倍率双视角摄像头提供增强的空间感知。实时视频中的指向和点击定位允许操作员快速将样品放置在正确的位置，以便快速简便地设置测量和自动化编程。该系统的大型连锁门提供了安全，方便的样品加载/卸载。
其他硬件功能包括:
- 单拱结构和集成隔振，具有行业领先的性能
- 快换自调心笔
- 高精度编码XY级，快速自动化数据采集
- N-Lite低力软触技术和1mm测量范围可同时用于测量精细和高垂直范围的样品