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“”“”“”“”“”“”在研究半导体材料时,实现纳米尺度空间分辨率和X射线峰值重叠的解卷积是常见的挑战。【参考翻译】、【参考翻译】、【参考翻译】

在这个案例中，我们展示了使用环形XFlash®平板四轴EDS1、电子元件EDS图。XFlash®FlatQUAD的4个SDD环形排列整体具有对称性,测试时探测器位于在试样和SEM极片之间。20kv: 20kv: 220paXFlash®FlatQUAD的高灵敏度允许在扫描电镜中实现超过10 nm的空间分辨率(见图2)。尽管X射线峰值重叠严重,但硅(Si)和钨(W)在结果图上可以很好地区分,这要归功于布鲁克ESPRIT软件中优秀的峰值解卷积的模型(参见图1)。