DektakXT探针式轮廓仪
亮点
Dektak XT探针式轮廓仪
DektakXT®探针式轮廓仪采用革命性的台式设计,可实现4 (0.4 nm)的无与伦比的重复性,扫描速度可提高40%。探针式轮廓仪性能的这一重大里程碑是Dektak®五十多年创新和行业领导地位的顶峰。DektakXT结合了行业第一的技术和设计,可提供极致的性能,易用性以及价值,实现从研发到质量控制的更好过程监控。DektakXT的技术突破为微电子,半导体,太阳能、高亮度,医疗和材料科学行业的关键尺寸的纳米级表面测量提供支持。
特点
加速数据收集和分析
DektakXT利用独特的直接驱动扫描样品台，将测量时间加快40%，同时保持行业领先的性能。Vision64是布鲁克的64位并行处理操作和分析软件,能够更快地加载3 d形貌文件,并更快地应用筛选器和多区域数据库分析。
提供最高重复性的测量
单拱门结构设计使DektakXT更坚固，从而将环境噪音的影响降至最低。DektakXT升级的“智能电子设备”可降低温度变化的影响,并采用现代处理器,最大限度地减少噪声水平,使其成为能够测量小于10纳米的台阶高度的更强大的系统。
全面的操作与分析
布鲁克的Vision64软件通过提供最直观,最简化的用户可视化界面,加入到DektakXT的创新设计。智能架构和可自定义自动化功能相结合，可实现快速、全面的数据收集和分析。无论您是使用分析脚本对单个扫描结果进行分析,还是应用自定义筛选器设置和计算,DektakXT的数据分析器都能显示当前分析结果,同时显示其他可能的分析工具。
让事情变得简单
DektakXT的自对齐探针组件允许用户快速轻松地更换不同探针，同时消除换针中的任何潜在风险。布鲁克提供最广泛的探针尺寸和形状，几乎满足任何应用需求。
确保高通量测试
DektakXT能够快速轻松地设置和运行自动化的多样品测量模式,以无与伦比的可重复性验证整个晶圆表面薄膜的精确厚度。这种有效的监控可以通过提高测试通量来节省宝贵的时间和金钱。
网络研讨会
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用户反馈
听听客户怎么说
我是布鲁克探查器的长期所有者。我的第一个是德克塔克6手写笔浮量计大约20年前,然后一个德克塔克150年,其次是Contourgt光学探查器,最近一个德克塔克XT。更重要的是，所有这些机器仍然工作！它们只是"工作马"，日复一日地提供精细、准确的测量，停机时间极小。作为多用户设施的经理，我为这些年与布鲁克的合作关系感到高兴。成百上千的学生已经用过这些机器，几千次了。这充分证明这些探查器是强大、可靠和友好的平台。
