半导体纳米结构的SEM表征

本次网络研讨会将讨论利用扫描电子显微镜(SEM)及能量色散x射线能谱(雷竞技网页版EDS)和透射菊池衍射(跆拳道)技术。

我们将利用FEG-SEM研究多层半导体材料的微观结构和元素组成。雷竞技网页版这些薄多层的晶体学信息有助于预测或增强这种器件的物理、化学、界面和电子性能。然而，它们的晶体学研究具有挑战性，因为这些材料具有复杂和非均匀的结构，具有超细晶粒尺寸，并且对电子束敏感。雷竞技网页版在这里，我们介绍了使用透射取向对比成像和扫描电镜映射的好处。通过在CPU、SSD和CIGS太阳能电池上的应用实例，我们展示了轴上TKD技术在纳米尺度上表征半导体多层膜的分析能力。

本次网络研讨会将以15分钟的问答环节结束，我们的专家将回答您的问题。

• 对纳米结构材料表征感兴趣的各级扫描电镜用户雷竞技网页版
• 对先进的分析技术感兴趣的FIB/SEM显微镜

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