DIFFRAC.XRR

DIFFRAC.XRRfeatures two different analysis approaches to best fit the user’s requirements:

• 快速傅里叶变换(FFT)方法快速层厚度估计从x射线反射计用鼠标(XRR)曲线。
• 详细的XRR分析通过使用动态散射理论基于样本模型的拟合。

DIFFRAC.XRRis designed to maximize the user’s efficiency throughout the entire analysis process – from the creation of the sample model to the reporting of the results:

• 灵活的样本模型包括公式参数和免费的拟合变量。
• 全面的和可扩展的数据库材料和样品。雷竞技网页版
• 先进的自动化和工作流功能包括宏录制和按部就班地执行。
• 自动分析和显示一系列的反射率测量。
• 评估晶圆映射的数据包括可定制的轮廓图和统计分析。
  
• 强大和广泛的报告生成器模板功能。
  

当提取的分析任务由一层厚度,然后DIFFRAC。XRR设置基准:鼠标,评估工具评估层厚度通过快速傅里叶变换和直接在相应的图中显示结果XRR测量。

DIFFRAC.XRRfeatures a comprehensive and extendable material database. It includes amorphous and crystalline materials as well as mixed crystals up to quaternary compounds. The database offers calculation of structure factors or hkl patterns as well as X-ray properties like absorption, penetration depth, index of refraction, polarizability. To facilitate the creation of new database entries, .cif files and .str files can be directly imported.

DIFFRAC.XRRcomes with a powerful sample database.

复杂的样品结构可以创建,存储,然后直接加载到当前分析项目。这大大增加了日常工作的效率。

与测量软件DIFFRAC分享sample数据库。实验套件还允许更有效的规划,从而极大地支持PLAN.MEASURE。分析哲学的DIFFRAC。套件软件平台。

常规x射线反射率分析从来都不是一件容易的事:DIFFRAC。XRR可以记录宏和执行它们在单个运行或在一个循序渐进的模式。

工作流设计器提供了一个直观的界面创建的工作流,指导用户通过分析或运行甚至完全自动化——从进口的测量数据的报告结果。

晶片或区域映射允许横向样本的异同的决心。

DIFFRAC.XRRfeatures full wafer analysis: Each refined sample parameter can be displayed as a contour, detailed statistics on the parameters can be displayed and sections along the surface allow for a detailed look at the local sample properties.