XFlash FlatQUAD

的XFlash^®FlatQUAD的核心QUANTAX FlatQUAD,是基于一种新型探测器的概念。这包括定位检测器从侧面极片和样品之间。因此,探测器安装在水平端口扫描电镜室。传统检测器,很少延伸下极片需要一个斜港。为了确保与许多不同的SEM类型兼容,探测器可以精确定位在X, Y和Z方向。

四个独立的硅漂移探测器XFlash的芯片^®FlatQUAD在一个环形布置探测器模块上的一个洞。主要的电子束穿过这个开口。这个设计,以及打算保持探测器手指尽可能薄,需要一种新的方法来防止背散射电子探测器芯片。探测器配备特殊聚合物不同厚度的窗户。他们吸收x射线背散射电子,同时允许通过。聚合物窗户都安装在一个滑动条允许改变他们在不影响真空。这使得扫描电镜加速电压变化在探测器测量位置。

位置和大小(4×15毫米²活动区域)探测器芯片提供最大的立体角在扫描电镜x射线采集。根据特定的几何条件超过1起飞sr可以结合高60°角或更多。收集效率会导致非常高计数率。所有四个探测器芯片因此配备独立的信号处理通道。这允许输入计数率(ICR) 4000000 cps和联合输出计数率(OCR) 1600000 cps。的XFlash^®FlatQUAD提供了一个极好的能量分辨率126 eV Mn Kα和100000 cps输入计数率(51电动车在F C K和60 eV K)。决议类129 eV和133年的电动车也可以。