同时进行EBSD和EDS分析

由于布鲁克EDS和EBSD探测器的独特定位能力，可以实现两者的最佳测量条件。这允许快速高效地同时采集EBSD和EDS数据。

同时拥有这两种方法对于所生成的数据和得出的结论的质量是一个巨大的好处。特别是在有疑问的情况下，拥有第二个信息来源对正确的数据解释是非常有用的。由于许多分析步骤可以非常快地离线完成，这节省了操作员和SEM的时间。

EBSD和EDS同时测量有以下应用:

• 提供相位成分作为输入，用于离线相位识别与高级相位ID
• 基于eds的产生相似模式的阶段在线鉴别

基于eds的快速在线相位识别

有些情况下，各阶段产生的ebsp非常相似，以至于仅通过EBSD无法区分它们，尽管它们具有不同的成分。对于这些eds，可以使用基于在线歧视的方法。EDS数据在最终结果中的权重可由用户在1% ~ 100%之间修改。

得益于Bruker的XFlash®EDS探测器的快速量化程序和功能，采集和评估可以以高达930模式/秒的速度进行。为此，在测量的每个点获得的EDS光谱与EBSD数据一起存储在一个文件中，这意味着它们始终可以在线和离线访问。