同时进行EBSD和EDS分析

由于布鲁克EDS和EBSD探测器具有独特的定位能力，因此可以实现两者的最佳测量条件。这允许快速有效地同时采集EBSD和EDS数据。

同时掌握这两种方法对所产生的数据质量和得出的结论都有巨大的好处。特别是在有疑问的情况下，有第二个信息来源对正确的数据解释是非常有用的。由于许多分析步骤可以离线非常快地完成，这节省了操作员和SEM的时间。

同时进行EBSD和EDS测量有以下应用:

• 提供相位成分作为输入的离线相位识别与先进的相位ID
• 基于eds的产生相似模式的相位在线判别

基于eds的快速在线鉴相

有些情况下，相产生的EBSD非常相似，即使它们具有不同的成分，也无法单独区分。对于这些基于eds的在线歧视可以使用。EDS数据在最终结果中的权重可由用户在1% ~ 100%之间进行修改。

得益于快速定量程序和布鲁克XFlash®EDS探测器的功能，采集和评估可以以高达930模式/秒的速度进行。为此，在测量的每个点获得的EDS光谱与EBSD数据一起存储在单个文件中，这意味着它们都可以在线和离线访问。