Hysitron ATI 8800
自动薄膜附着力机械和计量
突出了
Hysitron ATI 8800
力量的Hysitron ATI 8800纳米机械计量设备使公司有效地监控产品的机械可靠性迅速识别意想不到的过程变化虽然可量化的测量力学性能的变化和/或界面附着力值。纳米机械计量允许快速的识别过程变化提高产量,提高产品可靠性,验证新流程,减少上市时间,降低运营成本。测量是完全自动的能力持续监测薄膜模量、硬度、附着力和高容量的制造环境。
自动化
300毫米晶圆处理
全自动直列式或行附近纳米机械计量。
精度
最高灵敏度的测量
独家传感器技术提供最高水平的测量分辨率和稳定。
识别
物理性质均匀性
测量弹性模量、硬度、晶片的薄膜附着在任何领域。
特性
行业领先的Nanoindentation
一支小部队应用于金刚石探测器和著名的几何探针位移连续监控到材料表面。结果load-depth曲线是材料的“机械指纹”,用于定量计算力学性能。
Nanoindentation适用于每个设备制造过程中使用的材料。模量和硬度测量的变化高度敏感材料组成、孔隙度和厚度。
Nanoscratch附着力
一个线性增加法向力应用于薄膜的探针是翻译在横向方向上。当探测器接近薄膜/基体界面,外加应力的附着力翻译调查原因失败。
颗Nanoscratch是一个快速、可重复的方法来监测薄膜的附着力。1:1 nanoscratch之间的相关性可以粘附和四点弯曲试验结果。
应用程序
薄膜机械和粘附一致性
ATI 8800提供高度本地化的力学性能和界面附着力测量,使能力定量测量晶片的不同区域的变化。
过程监控
快速的技术进步要求的大部分新产品使用新材料开发和修改流程。雷竞技网页版与每个新材料、过程或厚度不可能指以前设备的可靠性的成就。考虑到当前和未来的所使用的材料和厚度,很少有错误的空间。雷竞技网页版
连续沉积的纳米机械性质的电影产量的统计抽样过程漂移和知识结构的变化,传统上需要一些慢的计量工具来识别问题。