hyysitron ATI 8800
自动薄膜机械和界面粘附计量
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hyysitron ATI 8800
Bruker的Hysitron ATI 8800纳米机械计量设备通过测量机械性能和/或界面粘附值的可量化变化，快速识别意外的工艺变化，使公司能够有效地监控其产品的机械可靠性。纳米机械计量能够快速识别工艺变化，以提高产量，提高产品可靠性，验证新工艺，缩短上市时间，并最大限度地降低运营成本。测量是完全自动化的，能够在大批量制造环境中连续监测薄膜模量，硬度和界面附着力。
自动化
300mm晶圆处理
全自动在线或近线纳米机械计量。
精度
最高灵敏度测量
独有的传感器技术可提供最高水平的测量分辨率和稳定性。
识别
物理性能均匀性
测量模量，硬度，薄膜附着在晶圆片的任何区域。
特長
行业领先的Nanoindentation
一个小的力被施加到一个金刚石探头与已知的几何形状，同时探头位移到材料的表面被连续监测。得到的载荷-深度曲线是材料的“机械指纹”，可用于定量计算材料的力学性能。
纳米压痕适用于器件制造过程中使用的每种材料。模量和硬度测量对材料成分、孔隙率和厚度的变化非常敏感。
Nanoscratch附着力
当划痕探针在横向方向上平移时，对薄膜施加线性增加的法向力。当探针接近薄膜/衬底界面时，平移探针施加的应力导致界面粘附失效。
纳米划痕是一种快速、可重复的监测薄膜界面附着力的技术。纳米划痕黏附结果与四点弯曲试验呈1:1的相关关系。
アプリケーション
薄膜机械和粘附均匀性
ATI 8800提供高度局部化的机械性能和界面粘附测量，从而能够定量测量晶圆片不同区域的变化。
过程监控
技术的快速进步要求大多数新产品都是使用新材料和改进的工艺开发的。雷竞技网页版对于每一种新的材料、工艺或厚度，都不可能参考以前设备的可靠性成就。考虑到目前和未来使用的材料和厚度，几乎没有出错的余地。雷竞技网页版
对沉积薄膜的纳米力学性能进行连续的统计采样，可以获得关于工艺漂移和结构变化的大量知识，而传统上需要几个较慢的计量工具来识别问题。