洞察力" WLI
研发和生产自动化,Gage-Capable计量
突出了
洞察力" WLI与300毫米晶圆处理程序
完全自动化的洞察力" WLI系统提供了无与伦比的光学表面测量与晶片装卸器集成功能。而设计的大多数要求研发、质量保证,和过程质量控制需求,洞察" WLI包含力量的专利提示/倾斜头部,专有self-calibrating激光参考,综合模式识别,和许多其他Bruker-exclusive干涉法的创新。没有其他计量系统提供了非接触式的准确性,吞吐量和运营商方便这样一个广泛的生产计量和成像应用。
特性
基准的准确性和鲁棒性
- 独特的计量传感器设计与专利双led光源
- Self-calibrating、计量优化激光参考
- 集成隔震地板登上内阁
测量与分析
最快,最简单的纳米级测量
- 完全自动化的测量功能
- 行业领先的计纳米特性
最强大的测量和分析
- 流线型的,可定制的生产接口
- 灵活的配方优化和自动化测量
- 扩展库的过滤器和可定制的分析选择
配置要求要求
配置要求先进的包装
- 完整的模具平面度和CMP计量解决方案
- TSV和互连的测量
- 热点和缺陷检测全十字线死去
工厂自动化准备好了
- 秒/宝石
- S2 / S8兼容
- FDC DCOL可用
应用程序
支持
支持
我们如何帮助?
力量合作伙伴与客户解决实际应用问题。我们开发新一代技术,帮助客户选择合适的系统及配件。这种伙伴关系继续通过培训和扩展服务,很久以后销售的工具。
我们的训练有素的团队的支持工程师,科学家和应用主题专家是完全致力于最大化工作效率与系统服务和升级,以及应用程序的支持和培训。