洞察力" WLI
用于研发和生产的自动化、可测量的计量系统
母亲是żniejsze informacje
InSight WLI与300mm晶圆处理器
全自动InSight WLI系统通过集成晶圆处理器提供无与伦比的光学表面测量能力。为了满足最苛刻的研发，质量保证和过程质量控制需求，InSight WLI集成了Bruker的专利尖端/倾斜头，专有的自校准激光参考，集成模式识别，以及许多其他布鲁克专有的干涉测量创新。没有其他计量系统为如此广泛的生产计量和成像应用提供非接触式精度、吞吐量和操作便利性。
Cechy charakterystyczne
准确性和稳健性的基准
- 独特的计量传感器设计，专利双led光源
- 激光基准自校准，计量优化
- 集成隔振地板安装柜
测量与分析
最快，最简单的纳米级测量
- 全自动测量功能
- 行业领先的纳米尺度的特点
最强大的测量和分析
- 流线型，可定制的生产界面
- 灵活配方及自动化测量优化
- 广泛的过滤器库和可定制的分析选项
高要求配置
要求高级包装的配置
- 完整的模具平整度和CMP计量解决方案
- TSV和互连测量
- 全划线模具的热点及缺陷检测
工厂自动化就绪
- 秒/宝石
- S2 / S8兼容
- FDC, DCOL可用
Aplikacje
Wsparcie
支持
我们如何提供帮助?
Bruker与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发新一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务继续下去，直到工具出售很久之后。
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级，以及应用程序支持和培训，最大限度地提高您的生产力。