SENSUS-CS
高分辨率XRDI系统专门为碳化硅的生产监测
x射线衍射成像(XRDI)检查系统
突出了
Sensus-CS
Sensus-CS是高分辨率XRDI SiC系统专门设计生产的监控。它使用一个高亮度旋转阳极源用5µm决议探测器收集高分辨率图像< 30分钟150 mm晶圆,超过10倍的速度比以前的系统。系统可以加载配备完整的机器人,和一个可选的迷你环境的生产能力。SECS-GEM软件可以安装启用从工厂主机完全自动化。
5µm决议
探测器
收集高分辨率的图像
< 30分钟
完整的150毫米晶圆
超过10倍的速度比以前的系统
可配置的
完整的生产
添加机器人装载、迷你环境和SECS-GEM
特性
自动缺陷检测
完全自动化操作它还提供了一个完整的解决方案从材料研究到生产部署。全自动样本对齐系统特性,测量和分析。分析使TED的决心,保洁桶密度分别与缺陷自动识别和标准KLARF输出。
支持
支持
我们如何帮助?
力量合作伙伴与客户解决实际应用问题。我们开发新一代技术,帮助客户选择合适的系统及配件。这种伙伴关系继续通过培训和扩展服务,很久以后销售的工具。
我们的训练有素的团队的支持工程师,科学家和应用主题专家是完全致力于最大化工作效率与系统服务和升级,以及应用程序的支持和培训。