SENSUS-CS
高分辨率XRDI系统专为碳化硅生产监控而设计
x射线衍射成像(XRDI)检测系统
ハ▪▪ラ▪▪ト
Sensus-CS
Sensus-CS是专为SiC生产监测而设计的高分辨率XRDI系统。它采用高亮度旋转阳极源，带有5微米分辨率探测器，可在不到30分钟内收集完整150mm晶圆的高分辨率图像，比以前的系统快10倍以上。该系统可以配备完整的机器人装载和可选的小型环境，以实现完整的生产能力。可以安装SECS-GEM软件以实现工厂主机的完全自动化。
5µm分辨率
探测器
收集高分辨率图像
< 30分钟
全150mm晶圆
比以前的系统快10倍以上
可配置的
全面生产
添加机器人加载、迷你环境和SECS-GEM
特長
自动缺陷检测
通过全自动操作，它还提供了从材料研究到全面生产部署的完整解决方案。该系统具有全自动样品校准，测量和分析。该分析能够通过自动缺陷识别和标准KLARF输出分别确定TED, TSD和BPD密度。
サポト
支持
我们如何提供帮助?
Bruker与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发新一代技术，帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务继续下去，直到工具出售很久之后。
我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级，以及应用程序支持和培训，最大限度地提高您的生产力。