化合物半导体的x射线计量学

QCVELOX-E

用于epilayer监测的最佳HRXRD性能

系统的选择,为领先的epi制造商

半导体衬底、封装层结构和加工器件晶圆常规分析的基本工具。

突出了

QCVELOX-E

Bruker QCVelox-E是领先的epi制造商监控其生产线的首选系统。它基于行业标准QC3,在吞吐量、可靠性和易用性方面进行了重大升级。通过使用最佳的x射线源和光学技术,它将高通量和出色的重复性结合起来,能够在生产环境中快速反馈层质量和结构。

最佳x射线
光源与光学技术
真正的自动化操作
用于半导体衬底、封装层结构和加工器件晶圆的常规分析

特性

特性

自动操作

qcvelx - e提供真正的自动化操作,具有直接的水平样品安装,全自动对齐,测量包括无边缘排除的完整映射,以及自动化数据分析。集成的条形码阅读器可以帮助生产环境中的生产力。
可选的机器人处理器可用于从盒式磁带自动加载和测量,以及SECS-GEM和其他工厂主机系统的选项。

QCVelox-E是对所有化合物半导体材料的半导体衬底、epilayer结构和加工器件晶圆进行常规分析的基本工具。雷竞技网页版

支持

支持

我们如何提供帮助?

Bruker与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发新一代技术,帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务继续下去,直到工具出售很久之后。

我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级,以及应用程序支持和培训,最大限度地提高您的生产力。

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