三维光学轮廓仪

contourx - 1000

自校准,全自动的研究和生产解决方案

突出了

ContourX-1000 3D光学轮廓仪

ContourX-1000落地式白光干涉仪(WLI)可以轻松快速地获得高质量的3D区域表面纹理和粗糙度测量。结合了30多年的创新和我们最新的专有软件和技术,该测量系统提供了Bruker光学轮廓仪闻名的快速结果和可重复性,提高了吞吐量,甚至更容易操作。

凭借全面的自动化功能、简单的用户体验以及简化的测量设置和分析配方,ContourX-1000可以在几乎任何表面、任何操作人员,甚至在多用户大批量生产设施中,提供最准确和精确的测量。

专有的
硬件和系统特性
在任何表面上提供最准确的表面纹理和粗糙度测量。
Self-Calibrating
激光
确保开发或生产应用的仪表计量能力。
操作简便
软件
自动化测量和分析,无论操作人员的经验水平如何。

特性

下一代,专注于行业的3D表面测量解决方案

ContourX-1000配备了布鲁克专有干涉测量技术,能够完全自动化,扩展了我们无与伦比的测量和成像能力ContourX轮廓测量系统包括几乎所有开发和生产应用程序。

只有ContourX-1000:

  • 提供快速和通用的生产车间计量,独家尖端/倾斜头,双光源,和先进的自动化;
  • 自校准激光和集成隔振确保极高的精度和可靠性;而且
  • 集成了我们最友好的测量和分析软件有指导,简化的程序和食谱。
特性

最新光学分析硬件进展

ContourX-1000配备了各种独特和创新的硬件。它的新一代设计使几乎所有开发和生产应用程序都能快速优化和最大的重现性,即使在高通量和嘈杂的环境中也是如此。

主要特点包括:

  • 专利尖端/倾斜头;
  • 专有双led光源;
  • 自动化炮塔和舞台;
  • 硅片夹头的选择;
  • 专利内部激光参考;而且
  • 集成隔振。

▲专利尖端/倾斜头(轮廓系列宣传册)

强大的自动化测量和分析

ContourX-1000的集成,操作友好的功能和先进的生产界面,允许快速收集质量,仪表能力的测量,最低限度的用户干预。这消除了人工设置、采集和分析所固有的复杂性、获得结果所需的时间延长以及操作人员的不一致性。

主要特点包括:

  • 自动测量和分析配方;
  • 新一键高级查找曲面具有自动对焦和自动照明功能;
  • 自适应自动确定最佳测量参数USI测量模式
  • 引导VisionXpress接口;
  • 自动模式对齐;
  • 自动强度,自动保存,自动拼接,等等。

▲自动化图形用户界面(GUI)与晶圆图

应用程序

应用程序

Industry-Diven解决方案

ContourX-1000的先进硬件和软件集成的独特组合,为广泛的应用和行业的各种表面(包括关键尺寸计量等)提供高精度、可测量的定量3D表面表征。

高展弦比MEMS器件结构
技术高分子薄膜

软件

软件

Bruker的Vision64仪表控制与分析

ContourX-1000由Vision64®软件提供支持,该软件是业界功能最强大和用户友好的图形用户界面。这个功能齐全的软件包括:

高级查找曲面

高级查找表面功能使任何用户都可以获得高质量的结果,而不管操作人员的经验水平如何,即使是在多用户环境中。

它不仅可以自动对焦,还可以调整关键的照明参数,如LED环灯的强度。这允许在不同的材料表面上进行不妥协的计量,改善了用户体验,极大地简化了操作,并更快地实现结果。

VisionXpress

易于使用的VisionXpress™接口及其标准测试库适用于多用户环境,屡获殊荣的全功能Vision64接口适用于高级设置和自动化分析,以及高级生产接口适用于最终自动化,只需最小的用户干预,您可以选择最适合您独特的计量需求的解决方案,而无需妥协。这种独特的功能可以在任何表面上实现不妥协的计量,提高了吞吐量。

通用扫描干涉测量法

USI模式的自适应表面智能自动调整算法参数,以在同一视场的不同表面纹理上获得最佳结果,即使是在具有不同对比度、强度和高度的表面上。这种自动感知表面类型并提供最准确的面积计量的能力使其成为几乎任何表面(透明到不透明)最简单和最可靠的测量方法之一,垂直范围可达120µm。

在线研讨会

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ContourX:四十年的Wyko®和Bruker技术进步

ContourX系统利用先进的计量算法来优化白光干涉测量(WLI)的能力。结果是最高程度的垂直分辨率,即使在低放大倍率。这使得研究人员和工程师能够快速获得非常准确和统计相关的数据,从大测量区域的结果。

ContourX轮廓仪具有行业领先的能力和最大的客户满意度:

  • 表面测量最优化的WLI技术;
  • 大视场上无与伦比的垂直分辨率;而且
  • 最快速的结果,不妥协的精度和准确性;而且
  • 一流的可靠性和重复性。

支持

服务及支援

我们如何提供帮助?

Bruker与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发新一代技术,帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务继续下去,直到工具出售很久之后。

我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级,以及应用程序支持和培训,最大限度地提高您的生产力。

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