光谱反射计
快速薄膜计量非常适合现场生产质量评估
概述
快速和容易地表征薄到厚的薄膜
光谱反射测量是一种广泛使用的薄膜测量技术，通常用于主流制造环境，特别是用于先进包装、微电子和介电应用的单层薄膜。与光谱椭偏法相比，该技术有利于更快的测量和数据采集，并且需要相对较简单的配置和建模，使其成为表征薄和厚薄膜(几纳米到100微米以上)的层厚度和光学特性的快速简便方法。由于这些系统的相对速度、简单性和与常见样品类型和测量要求的兼容性，通常在线集成用于质量监测。
FilmTek的光谱反射仪具有各种专利技术集成，大大扩展了这些仪器的测量能力，大大超出了标准反射仪，包括扩大其可测量的厚度范围和与衍射或散射材料和多层结构的兼容性。雷竞技网页版因此，与同类仪器相比，FilmTek光谱反射仪使用户能够研究更广泛的样品，并轻松满足更多非标准薄膜测量要求。
