原位纳米机械测试

现场扫描电镜Nanomechanics与扫描探针显微镜成像

样品表面的地形成像基于力反馈

力量的Hysitron处于行业领先地位®扫描探针显微镜(SPM)现在可用于原位扫描电子显微镜(SEM)SEM PicoIndenter Hysitronπ89。利用滑动扫描阶段与传感器闭环控制,提示可以快速扫描相对于样本与纳米级精度。这使样品表面的地形成像基于力反馈。

(一)SEM图像的原位nanoindentation大块金属玻璃;(b)原位nanoindentation SPM图像;和(c)在压痕可以量化堆积体积和滑带形成的步骤。
(一)SEM图像的现场批量金属玻璃划痕;(b)原位micro-scratch SPM图像;和(c)概要划痕可以量化堆积体积和滑带形成的步骤。

即使表面特征可以与二次电子成像的高分辨率扫描电镜,获得量化地形数据是具有挑战性的。SPM可以解决这个问题通过使用相同的探针图像样本表面是用于执行压痕测试。这提供了准确的高度信息样本特性,以及表面粗糙度等相关参数。这种能力也特别有用的分析检测后变形,如测量堆积或渗入nanoindentation和刮伤的痕迹。