纳米结构薄膜量化

雷竞技网页版纳米材料通常在传输电显微镜TEM系统雷竞技网页版然而,有可能通过适配大领域视图量化纳米材料扫描电子显微镜SEM)上头上轴TKD技术开发此目标使用EBSD硬件制作纳米尺度面向分布测量应用实例中,金黄薄膜定向分布用测量e-FlashFS检测器反转OptimusTKD头部FEG-SEM高速TKD测量低探测电流( <3NA)可克服波束流并实现超高空间分辨率:20分钟内测量1000粒子以上,最小粒度为20Nm,超线性特征如双边界解决(3nm)。

左:解决宽度3nm双边框(IPFZ地图,上轴TKD1.5nm步尺寸)右:Au薄膜偏差模式
s3N4膜上20NmAu胶片On-axisTKD地图索引率 > 92%测量了24多粒子
ARGUS色码黑场Au薄膜图像