SmartProber-P1
300mm晶圆应用于企业研发和故障分析的电动系统
汪汪汪汪
高perpendicular-to-plane
磁场
可配置的
设计和方案
整片覆盖
最大300mm
0.1 -100 kΩμ平方米
RA范围
特長
SmartProber-P1
smartprobe - p1的目标是5.5以上的下一代。
该类型smartprobe有多种配置。如果需要高垂直场，但只需要测量小样本，则可以用更便宜的手动台取代自动晶圆台。
SP-P1 - 6kOe磁铁，300mm旋转晶圆级
配置选项:
C:附加平面内磁铁模块，磁场强度为2kOe
Y: 200mm XY晶圆级
M:小样品的手动晶圆级
L: 10k磁铁
仕様
可配置的设计以匹配您的应用程序
垂直的磁铁
- 0.6T垂直磁铁
- 垂直磁铁
面内磁体添加
- ~0.2T面内磁体
阶段
- 300mm圆片旋转工作台
- 用于200mm晶圆的XY平台-允许全晶圆覆盖平面内测量
- 手动阶段较小的晶圆