SmartProber-P1
300mm晶圆电动系统应用于企业研发和故障分析
母亲是żniejsze informacje
高perpendicular-to-plane
磁场
可配置的
设计和选项
整片覆盖
最大可达300mm
0.1 -100 kΩμ平方米
RA范围
Cechy charakterystyczne
SmartProber-P1
smartprobe - p1的目标是5.5 kOe以上的下一代。
该类型的smartprobe有多种配置。如果需要高垂直场，但只需要测量小的样品，则可以用更便宜的手动工作台取代自动化晶圆工作台。
SP-P1 - 6kOe磁体，300mm旋转晶圆级
配置选项:
C:附加面内磁体模块，场强2kOe
Y: 200mm XY晶圆级
M:小样品手动片级
L: 10kOe磁铁
Specyfikacje
可配置设计以匹配您的应用程序
垂直的磁铁
- 0.6T垂直磁铁
- 1T垂直磁铁
平面内磁铁添加
- ~0.2T平面内磁铁
阶段
- 300mm晶圆旋转工作台
- 用于200mm晶圆的XY级-允许全晶圆覆盖平面测量
- 手动阶段较小的晶圆