半导体解决方案

x射线缺陷检查

x射线缺陷检查

布鲁克缺陷检测系统使用x射线衍射成像(XRDI)来检测晶体缺陷,如单晶衬底上的裂纹、滑移、位错和微管。我们的XRDI检测技术无需使用蚀刻酸。这些系统被广泛用于检测导致硅片破裂的硅片裂纹,并提高其他高价值衬底(如CdTe和SiC)的产量和质量。

支持

我们能帮什么忙?

布鲁克与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术,帮助客户选择合适的系统和配件。这种伙伴关系通过培训和延长的服务,在工具销售后很长一段时间内继续下去。

我们训练有素的支持工程师,应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级以及应用程序支持和培训最大限度地提高您的生产力。

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