自动化AFM计量
布鲁克的自动化原子力显微镜为表面粗糙度测量、化学机械平面化(CMP)以及最新技术节点和晶圆上的蚀刻深度测量提供成熟的工业计量解决方案。
为什么选择原子力分析
原子力分析是最准确，无损的方法可用于优化和监控具有挑战性的CMP和蚀刻工艺步骤。直接测量不需要测试结构或模型，可以在模具的活动区域进行，以获得对工艺变化的最佳灵敏度。
支持
我们能帮什么忙?
布鲁克与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发下一代技术，帮助客户选择合适的系统和配件。这种伙伴关系通过培训和延长的服务，在工具销售后很长一段时间内继续下去。
我们训练有素的支持工程师，应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级以及应用程序支持和培训最大限度地提高您的生产力。