半导体解决方案

自动AFM计量

自动AFM计量

布鲁克的自动化AFMs提供成熟的工业计量解决方案,用于表面粗糙度测量,化学机械平面化(CMP),以及最新技术节点和晶圆的蚀刻深度测量。

为什么选择原子力分析

原子力剖面是最准确,无损的方法可用于优化和监控具有挑战性的CMP和蚀刻工艺步骤。直接测量不需要测试结构或模型,可以在模具的活动区域进行,以获得对工艺变化的最佳灵敏度。

支持

我们如何提供帮助?

Bruker与我们的客户合作解决实际应用问题。我们开发新一代技术,帮助客户选择正确的系统和配件。这种合作关系将通过培训和扩展服务继续下去,直到工具出售很久之后。

我们训练有素的支持工程师、应用科学家和主题专家团队完全致力于通过系统服务和升级,以及应用程序支持和培训,最大限度地提高您的生产力。

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