光电子的领导

HRXRD仪für die Messung von Epi-Schichten肠表。作为布鲁克qcvelx - e Das现代和führende Gerät auf dem Gebiet der LED-Untersuchung and widergesamten分支的特征。

Das QCVelox-E ermöglicht vollautomatische HRXRD-Messungen mit hohem Durchsatz, zusammen mit einer automatischen RADS-Analyse und Erstellung von Ergebnisberichten, so dass die Kunden ihren Prozess auchne die Hilfe von Röntgenexperten bei der Datenauswertung überwachen können。Die optionale, ab Werk bereitgestellte SECS-GEM-Host-Software und Die Roboterbeladung vervollständigen Die Automatisierung des Systems。

了解图案蓝宝石衬底(PSS)的纳米尺度尺寸对于下一代材料的开发和保持生产质量至关重要。雷竞技网页版力量的三维光学剖面仪提供快速，准确的测量高度，间距和直径的PSS特征。

广泛的自动化功能使许多站点的操作员独立计量，从而可以很好地理解和控制晶圆的工艺变化。

此外,光学分析器而且笔分析器用于表征用于从底层蓝色LED产生白光的荧光粉层的粗糙度、厚度和形状。这些性质对光的转换效率有很大的影响，也会影响照明的颜色和均匀性。

当花纹蓝宝石衬底的间距低于2微米时，光学技术无法达到提供有价值的工艺计量所需的分辨率，原子力显微镜(AFM)提供精确的解决方案。它们提供亚纳米分辨率和测量所有必要数据的能力，以保持PSS制造过程在可控范围内。

Die Elektronenmikroskop-Analysatoren von Bruker, wie das EDS für SEM und TEM, EBSD, WDS und microk - rfa, ermöglichen Die Analyse der Textur (EBSD) and Elementverteilungen bis in den ppm-Bereich mit hoher räumlicher Auflösung und auch in geschichteten Materialien (microk - rfa)。Besonders schnelle Analysen, wie sie in der Qualitätskontrolle oder bei groen Probenbereichen benötigt werden, sind mit einem Gerät mit hohem Sammelwinkel, wie dem布鲁克探测器XFlash FlatQUAD, möglich。

FT-IR发射光谱是分析新型IR光源，激光，led或电致发光的理想工具。最高的光谱分辨率的研究系列FT-IR光谱仪允许完全分辨激光模式。时间分辨测量的时间分辨率可达低ns范围，可获得单激光脉冲。利用锁定技术的调幅步进扫描为记录极微弱的发射信号提供了可能。对于毫米或微米范围内的小发射器，适用于研究光谱仪的红外显微镜同时提供了出色的横向分辨率和最大的发射显微镜灵敏度。

自主研发的红外探测器可以用布鲁克FT-IR研究光谱仪进行测试和表征。单元素探测器可以直接适应研究系列光谱仪的外部光学。为表征焦平面阵列(FPA)探测器专用的外部测量模块可用。