半导体与纳米技术

光电子的领导

布鲁克的计量解决方案为生产监控和产量提高提供准确和可重复的测量。

LED Epi层监控

HRXRD是测定外延层的有效方法。的力量QCVelox-E是LED监控领域最先进的领导者,在整个行业中得到广泛应用。

QCVelox-E可实现全自动、高通量HRXRD测量,以及自动拉德分析并报告结果,使客户能够监控他们的过程,而不需要x射线专家来分析数据。可选配SECS-GEM工厂主机软件和机器人加载,完成系统自动化。

半导体衬底的常规分析

改进图案化蓝宝石衬底性能和成品率

了解图案蓝宝石衬底(PSS)的纳米尺寸对于下一代材料的开发和保持生产质量至关重要。雷竞技网页版力量的三维光学剖面仪提供快速,准确的测量高度,节距和直径的PSS特征。

广泛的自动化功能使操作员独立于多个站点的计量,以便可以很好地理解和控制晶圆之间的工艺变化。

此外,光学分析器笔分析器用于表征用于从底层蓝色LED产生白光的荧光粉层的粗糙度,厚度和形状。这些特性对光转换效率有很大影响,也会影响照明的颜色和均匀性。

PSS结构的亚纳米计量

当图案蓝宝石衬底的间距小于2微米时,光学技术无法达到提供有价值的过程计量所需的分辨率,原子力显微镜(AFM)提供准确的解决方案。它们提供亚纳米分辨率和测量所有必要数据的能力,以保持PSS制造过程处于控制之下。

光电器件的晶粒结构和元素分析

了解纳米到微米尺度上元素组成和晶体性质的特征是理解现代光电器件性能和行为的必要条件。布鲁克提供了各种电子显微镜分析仪来研究这些性质在扫描电镜和透射电镜系统。布鲁克的电子显微镜分析仪,如SEM的EDSTEMEBSD改进算法Micro-XRF,可以分析纹理(EBSD)和元素分布到ppm,具有高空间分辨率,也可以分析分层材料(Micro-XRF)。雷竞技网页版特别快速的分析,如需要在质量控制或大样本区域,可以使用高收集角度的设备,如布鲁克XFlash®FlatQUAD探测器。

激光和LED发射,电致发光

FT-IR发射光谱学是分析新型红外光源、激光、led或电致发光的理想工具。研究系列FT-IR光谱仪的最高光谱分辨率允许完全解决激光模式。时间分辨率低至低纳秒范围的时间分辨率测量使单个激光脉冲的采集成为可能。利用锁相技术的调幅阶跃扫描为记录非常微弱的发射信号提供了可能。对于毫米或微米范围内的小型发射器,适用于研究光谱仪的红外显微镜同时为发射显微镜提供出色的横向分辨率和最大的灵敏度。

FT-IR探测器测试与表征

自行研制的红外探测器可以用布鲁克FT-IR研究光谱仪进行测试和表征。单元素探测器可以直接适用于研究系列光谱仪的外光学。对于焦平面阵列(FPA)探测器的特性,可以使用专用的外部测量模块。