用SEM - xrf分析薄膜
由于x射线可以穿过物质，x射线荧光(XRF)可以确定层的厚度。使用SEM上的micro-XRF，层分析(厚度和成分)是可行的，在微米尺度的空间分辨率。层分析强烈地基于使用原子基本参数(FP)的定量。通过使用标准样品可以改进它，因此可以用FP研究各种类型的层系统，如晶圆上的金属化，多金属预处理涂层和太阳能电池。当标准可用时，它们可以用来提高准确性。但是由于FP不需要标准，所以研发环境中的新层系统也可以进行测试。层结构，如太阳能电池(图1)，在许多行业中都很重要。
图1:太阳能电池的薄膜分析实例。在大多数情况下，吸收体是由cigs结构产生的，这些结构是Cu-In-Ga-Se或Cu-In-Ga-S化合物。cigs太阳能电池通常是通过沉积在涂有mo层的玻璃基板上制造的。与传统的扫描电镜薄膜厚度分析相比，XTrace直接在平面上用扫描电镜测量样品，这是一种快速、无损的技术，不需要样品制备。
图2:太阳能电池的Micro-XRF光谱显示所有相关元素线来自不同的深度，甚至包括位于样品表面以下约2微米的钼。注意，高能z元素线(例如Mo-K和In-K)可以通过使用XRF源轻松激发。更大的x射线激发深度可以更深入地观察材料内部，能够表征从1 nm到40 μ m的相对较厚的层甚至多层系统。此外，还将确定CIGS结构的组成。该样品采用非标准基本参数方法进行分析。可以应用标准来提高精度。
