原子力显微镜

尺寸边缘PSS

LED衬底和外延制造商理想的计量和检测系统

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尺寸边缘PSS

Bruker's Dimension Edge™PSS原子力显微镜配合AutoMET™计量软件是LED衬底和外延制造商理想的纳米计量和纳米检测系统。作为Dimension Edge AFM平台的扩展,Edge PSS结合了Dimension AFM系统所享有的令人难以置信的价值和分辨率,同时还为基材测量提供了基于生产的解决方案。

纳米
决议
分析PSS衬底的每个关键参数。
< 0.2海里
噪声地板
提供裸基材和外延粗糙度测量。
生产级
易用性
在超值定价的工业AFM中提供最佳的用户体验。

Caracteristicas

特性

PSS分析的最高分辨率

当花纹蓝宝石衬底(PSS)的间距低于2微米时,传统的共聚焦技术失去了提供有价值的工艺计量所需的分辨率。Dimension Edge PSS原子力显微镜(AFM)以亚纳米分辨率解决了这一需求,并能够一次测量多达9个2英寸晶圆(或单个4或6英寸晶圆),提供了控制PSS制造过程所需的所有数据。

除了特定的PSS测量功能内置到Dimension Edge PSS,该系统还集成了所有世界领先的Bruker AFM技术,Dimension显微镜已经闻名于世,包括高分辨率和低噪声的外延粗糙度测量,以及标准和专有的AFM模式,如TappingMode,接触模式,相位成像™和LiftMode™。

三维AFM图像的平顶图案蓝宝石衬底。

先进的PSS计量能力

Dimension Edge PSS系统可以增强PSS结构的分析。
Dimension Edge PSS AFM为PSS衬底的每个关键参数的分析提供纳米分辨率,同时自动收集整个晶圆和晶圆之间的信息。布鲁克的专用PSS分析包可以同时提供以下数据:
  • 高度,宽度和间距
  • 侧壁角度和特征轮廓
  • 不对称识别与测量
  • 污染识别
  • 转弯识别和转弯角度
  • 平顶识别

行业领先的AutoMET软件

Edge PSS集成了专为满足LED制造要求而设计的AutoMET软件。该软件具有两种不同的操作模式:

  • 操作级别-一个简单的用户界面,带有按钮,引导用户完成尖端变化,对齐,调整和合格的步骤。单键操作可自动运行9片晶圆,简单的PASS/FAIL输出。
  • 工程师级别-密码保护的用户界面允许工程师访问所有关键AFM参数。在此模式下,流程工程师还可以轻松设置所有必要的通过/失败标准。
Dimension Edge PSS通过简单的激光对准以及自动生成报告提高了操作员的可用性,提供了在超值AFM中发布的最佳用户体验。

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