维边缘PSS
理想的计量和检验衬底和外延系统制造商
Najważniejsze informacje
维边缘PSS
力量的维度边缘™PSS原子力显微镜与AutoMET™计量软件是理想的nano-metrology和衬底和外延nano-inspection系统制造商。作为扩展维度的AFM平台边缘,边缘PSS具有令人难以置信的价值和决议的维度AFM系统著名,同时还提供一个基于生产的衬底的测量解决方案。
纳米
决议
分析每个PSS基质的关键参数。
< 0.2海里
噪声地板
提供裸衬底和epi粗糙度测量。
生产级
易用性
提供物有所值的工业AFM最好的用户体验。
Cechy charakterystyczne
PSS的最高分辨率分析
的音高的蓝宝石衬底(PSS) 2微米以下,传统共焦技术失去决议需要提供有价值的计量过程。维边缘PSS原子力显微镜(AFM)解决了这个需要事实上分辨率和能力达到九2英寸晶圆一次(或一个4 - 6英寸晶圆),提供所有必要的数据控制PSS的制造过程。
除了特定的PSS测量功能构建到维度PSS,该系统还包含了所有的领先力量维度显微镜AFM技术已经成为闻名,包括高分辨率和低噪声外延粗糙度测量,TappingMode等标准和专有的AFM模式,接触模式,PhaseImaging™和LiftMode™。
3 d的AFM图像平顶建筑物的蓝宝石衬底。
高级PSS计量功能
维边缘PSS系统使得enhnaced PSS结构的分析。
维边缘PSS AFM提供纳米分辨率的分析每一个关键参数PSS基质而自动收集这些信息在整个晶片和薄片。力量的专用PSS分析方案可以同时提供数据:
- 高度、宽度和间距
- 侧壁角&功能概要
- 不对称的识别和测量
- 污染识别
- 将识别和转角
- 平顶识别
行业领先的AutoMET软件
边缘PSS包含AutoMET软件,被专门设计来满足生产需求。软件功能两种截然不同的操作模式:
- 运营商层面——一个简单的用户界面按钮指导用户通过提示的步骤变化,调整、优化和资格。单按钮操作运行多达9晶片自动与简单的通过/失败输出。
- 工程师的水平——一个密码保护的用户界面允许工程师访问所有关键的AFM参数。过程工程师还可以设置所有必要的通过/失败标准很容易在这种模式下。
维边缘PSS提高运营商的可用性与简单的激光准直以及自动报告生成,提供最好的用户体验在一个物有所值的AFM发布。
