FastScan职业
突出了
Dimension FastScan Pro
Dimension FastScan Pro提供了当今任何工业AFM中最高的计量级速度和性能。该系统能够实现自动化或半自动化测量，同时确保最大程度的易用性和最低的成本，每次测量的质量控制，质量保证和故障分析。
特性
生产的多功能性
FastScan Pro利用开放访问平台，大型或多个样品持有人，以及众多易于使用的功能，为工业QA, QC和FA应用提供灵活的高性能纳米级计量。该系统可为半导体、数据存储和HB-LED提供自动2英寸至12英寸晶圆测量。它具有增加的XY样品旅行完全访问200mm晶圆或200mm直径区域的多个样品，可选的300 mm晶圆卡盘。该系统还提供了高通量5-10倍FastScan扫描仪，用于地形、粗糙度和其他计量分析，或具有90µm扫描范围的Icon扫描仪，用于更大的扫描和高精度地形性能。
强大的自动化软件
AutoMET™全配方软件提供快速、自动化的计量、简单的操作和AFM适应性，轻松捕获生产所需的关键到质量的测量。该软件允许对多个样品或单个大样品进行自动测量，以在多个位置进行纳米级表征。它还提供光学和AFM图像模式识别，尖端定心，全晶圆或网格映射支持，以及数十纳米以内的图像放置精度。全面，但简单，食谱编写为高级用户提供实时和离线使用。
精确的探针-样品控制
独特的技术可以精确地对样品上的任何原子施加力。这种精确的探针到样品控制允许最广泛的样品类型，从软聚合物，薄膜，电子样品到硬材料。雷竞技网页版它还提供最低可用成像力和长探针尖端寿命超过数百啮合和数据扫描。
由NanoScope 6 AFM控制器提供动力
NanoScope 6控制器具有更高的速度，更低的噪声和更大的AFM模式灵活性，允许用户充分利用我们高性能维度和多模式AFM系统的全部潜力。这一最新一代控制器提供了前所未有的精度，精度和多功能性的纳米级表面测量在每个应用程序。
NanoScope 6独特地使布鲁克AFMs:
- 与竞争系统相比，可以在更多的成像模式下操作，包括需要复杂控制和分析的独特和先进的AFM模式;
- 在每一个应用中收集精确、定量的纳米电和纳米力学性能测量数据;而且
- 优化和自定义扫描参数，以满足最苛刻的研究和行业测量要求。
应用程序
Dimension FastScan Pro数据库
