洞察力法新社
内联计量
领先铸造厂和内存制造商的首选
ハイライト
长期稳定、先进的过程控制和发展生产力
洞察力法新社是世界上最高的性能和行业首选CMP分析和腐蚀深度计量系统先进技术节点。的组合现代尖端扫描仪固有的电容稳定指标和一个精确的空气轴承定位系统使无损,直接测量有效面积的死亡。
特長
最高分辨率和最长的生命
洞察法新社TrueSense®技术,证明了长扫描原子力分析器的能力。蚀刻深度、碟形,在亚微米和侵蚀特性可以完全自动化监控与无与伦比的可重复性不依赖测试键或模型。它是独特的
完全自动化,内联过程控制腐蚀和CMP晶片
的洞察力法新社结合原子力显微镜的最新创新,包括力量的专有CDMode描述侧壁特性和粗糙度。CDmode减少浆纱切片的数量要求,实现显著的成本节约。另外,据法新社数据提供了一个直接侧壁粗糙度测量,不能通过其他方法获得的。
自动化缺陷评估和分类
今天的设备造成缺陷主要ICs比以往任何时候都小,需要快速解决HVM要求。洞察力法新社提供快速、可行的地形和材料缺陷在半导体晶片上的信息和phtomasks允许制造商迅速识别defectivity来源并消除它们对生产的影响。
登记100 x高分辨率光学和AFM全局比对使小于±250海里原始图像位置精度的晶片和面具确保缺陷测量感兴趣的缺陷。
该系统完全兼容KLARITY和大多数其他YMS系统。
三维模映射和HyperMap™
分析速度高达36000µm /秒使快速、完整的3 d post-CMP描述和检验的33毫米x 26毫米flash字段和大。子2 nm出平面运动的真正的大规模地形和全自动波兰热点检测。
在这个例子中,标准,26毫米x 33毫米十字线场扫描是在24小时内获得像素大小在1微米x 1微米。热点可以自动检测并重新扫描使用力量的热点探测和评估能力。
アプリケーション
サポート
支持
我们如何帮助?
力量合作伙伴与客户解决实际应用问题。我们开发新一代技术,帮助客户选择合适的系统及配件。这种伙伴关系继续通过培训和扩展服务,很久以后销售的工具。
我们的训练有素的团队的支持工程师,科学家和应用主题专家是完全致力于最大化工作效率与系统服务和升级,以及应用程序的支持和培训。